半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品ならお任せください。トータルサポートで技術貢献いたします。



石英材料
半導体の製造プロセスや光学用などで
必要な透過性、耐薬品性、耐熱性にすぐれた様々な石英ガラスを取り揃えております。
●石英管
豊富なサイズバリエーションで石英管のご提案が可能です。
また、リサイズ加工により最大φ400までの径修正にも対応 します。

●石英板
サイズ、肉厚、仕上げ方法など、ご要望 に応じた加工が可能です。

●石英異型管
独自の異型管製造方法で製作した石英管のご提案が可能です。


●肉厚石英管
●不透明石英材

●その他の材料として
特殊追加工による肉厚石英管や、細かな泡を内包させ、光の遮光や燃焼炉等高温プロセスでの遮熱性に優れた不透明石英ガラスなどがあります。


半導体向け石英加工
半導体プロセスにおいて必要不可欠な各種石英製品を高度な技術でご提供します。
●ウエハボート
ウェハーボートの処理に使用する石英ガラス製のボートです。
縦型・横型をはじめ小口径向けの石英ハンガー、太陽電池向けボートなど幅広く対応可能です。

●洗浄槽
洗浄プロセスに使用されるシングル・ダブルの石英槽をはじめ、硬質硝子ビーカーなどご要望に合わせた様々な形状に対応いたします。


●プロセスチューブ
CVD工程、拡散工程に不可欠な石英ガラスの炉心管です。
修理による再生によリコストダウンヘ貢献します。

●その他の加工品として
ウェハーホルダーなど石英や硬質ガラスを使った研削加工品や、各種修理品に至るまで様々な分野や用途に応じたご提案が可能です。