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グローブボックス連結型有機・金属蒸着装置
100×100基板に対応した有機･金属蒸着装置です。
マスク交換用にグローブボックスを連結しており、大気解放
することなく連続成膜することができます。
蒸着源は、抵抗加熱蒸着源、有機専用蒸着源、コニカル蒸着源
Ｋセルを複数備えた大型蒸着チャンパーです。
基板回転･基板加熱対応のホルダーを搭載しており、膜厚分布に
優れています。
グローブボックス連結型有機蒸着・スパッタ装置
50×50基板対応で、有機トランジスタ、
ＥＬ素子用抵抗加熱蒸着装置、
酸化物用ＲＦスパッタ装置を
グローブボックスに連結した装置です。
トランスファーロットにより、各室間を搬送し、
大気解放することなく連続成膜することができます。
グローブボックス内収納型真空蒸着装置
50×50基板を蒸着可能な小型蒸着ベルジャーを、
グローブボックス内に収納した装置です。
グローブボックス内でベルジャーを着脱し、
基板や蒸着材料を交換･補充することができます。
