半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品ならお任せください。トータルサポートで技術貢献いたします。
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お客様に納得される
オーダーメイド品を製造・販売しております。
この他にも様々なご要望に
お応えいたします。
 
薄膜作成コンポーネント
◆世界最小クラスのUHV対応
マグネトロンスパッタカソード
◆ICF70マウント可能なEBガン
◆ルツボ最小2cc〜100cc対応Kセル
◆有機・金属材料対応のマルチ抵抗加熱ソース
◆コニカル型蒸着ソース

 
スパッタリング装置
◆圧力勾配式スパッタ装置
【PGS model】
◆2インチ3源RFスパッタ装置
◆1インチ3源RF・DC切替スパッタ装置
◆1インチRFスパッタ装置
◆4インチ3源スパッタ装置

真空蒸着装置
◆3連式電子ビーム蒸着装置
◆3源抵抗加熱蒸着装置
◆斜入射型蒸着装置

 
有機薄膜蒸着装置
◆グローブボックス連結型有機・金属蒸着装置
◆グローブボックス連結型有機蒸着・スパッタ装置
◆グローブボックス内収納型真空蒸着装置

 
グラフェン結晶薄膜・表面分析装置
◆「MBE法」と「表面熱分解法」併用
グラフェン結晶薄膜成長機構
RHEED/LEED表面分析機構連結insituシステム
◆本装置により結晶成長したグラフェン評価

MBE成長・表面分析システム
◆MBE成長・XPS表面分析システム
◆MBE成長・酸化処理・STM分析システム
 
液体ソースプラズマCVD装置
◆液体ソーププラズマCVD装置
 
半導体プローブ評価装置
◆有機半導体・EL評価装置
◆高真空高温プローブ装置
◆環境制御評価試験装置

ウェハー表面改質・精密接合装置
◆ウェハーレベルシリコン、金属、石英、
ガラス等、真空〜
任意雰囲気表面改質処理後精密接合装置
 
接合・加工技術紹介
◆異種金属接合
◆ガラス一金属接合
◆石英/ガラス平面接合
◆石英/ガラス細線加工
 
超高真空
酸化雰囲気対応基板加熱ヒーター

◆高制御応答性、少ガス放出クリーンヒーター

石英精密加工製品
◆光学部品
◆超精密研磨・接合部品
◆石英製クリーンヒーター
◆石英管・石英板材
 
石英材料・石英加工
◆石英材料
◆半導体向け石英加工
 
中古理化学機器・装置・設備廃棄・移設作業
◆中古理化学機器・装置
◆設備廃棄・移設作業
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